靜電吸盤檢測及維修服務
德揚科技2023年開始提供半導體客戶端靜電吸盤(ESC/MCA ESC)代理維修服務，維修品項:包含TEL(DRM、SCCM、LAM ESC)、LAM、AMAT。
檢測與維修項目
針對來料的狀況不同進行適當檢測與提供相對應的維修服務。
- 靜電吸盤粗糙度(Ra)檢測及表面清潔
- 靜電吸盤表面及側面區域拋光，超音波檢測內部缺陷
- 靜電吸盤表面修復及加工，電性檢測
- 更換及焊合新的靜電吸盤，氦氣測漏
德揚科技2023年開始提供半導體客戶端靜電吸盤(ESC/MCA ESC)代理維修服務，維修品項:包含TEL(DRM、SCCM、LAM ESC)、LAM、AMAT。
針對來料的狀況不同進行適當檢測與提供相對應的維修服務。
